CN1 184059A
　　一种发光粉包封膜的制备方法主要是指使用该方法制备出的由发光粉制作的电发光器件不需要再作整体包封。氮化硅是一种透明材料，化学稳定性、热稳定性和密封性好，介电常数和绝缘系数高，耐击穿性强，能有效地防止离子的迁移。由于氮化硅化合物的温度较高(9O0c1：以上)，会导致发光粉的发光亮度降低，因此采用等离子体增强化学气相沉积。等离子体能量大，电子温度高，能使硅烷和氨气在较低的温度下化合成氮化硅。