一种发光粉包封膜的制备方法被研制成功，该方法制备出的发光粉制作的电发光器件不需再作整体包封。氮化硅是一种透明材料，化学稳定性、热稳定密封性好，介电常数和绝缘系数高，耐击穿性强，能有效地防止离子的迁移。由于氮化硅化合物的温度较高（900℃以上），会导致发光粉的发光亮度降低，因此采用等离子体增强化学气相沉积。等离子体能量大，电子温度高，使硅烷和氨气在较低的温度下化合成氮化硅。

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